Halbleiterindustrie

Reinheit ist unser oberstes Gebot…

Die deutsche Halbleiterindustrie ist einer der momentan am dynamischsten wachsenden Märkte. Dabei werden gerade an die Druckmessung höchste Anforderungen an die Reinheit und Dichtigkeit, zum Beispiel durch den Einsatz von VCR-Anschlüssen gestellt.

Unser Flow-Through Manometer erfüllt in höchstem Maß die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Ein herkömmliches Rohrfedermanometer hat aufgrund seiner Geometrie, z.B. der am Ende verschlossenen Rohrfeder, beim Reinigen der messstoffberührten Teile deutliche Nachteile. Unser Flow-Through Manometer ist mit zwei gegenüberliegenden VCR-Anschlüssen, die eine erhöhte Oberflächengüte aufweisen, und einem elektropolierten, totraumfreien Messstoffraum ausgestattet. Das Durchspülverhalten wird dadurch wesentlich verbessert und die Spülzeiten erheblich reduziert. Diese innovative Gerätegestaltung dient der effektiven Nutzung von Ressourcen.

Applikationsbeispiele Halbleiterindustrie

  • Hersteller technischer Gase
  • Gasverteilungssysteme
 

Geräteempfehlungen

Druckmessgeräte

Betriebs-Manometer mit Rohrfeder (RSCh 63) Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl Sicherheitskategorie S3 nach EN 837-1 mit indirekten Grenzsignalgebern (Typen E und I)
Rohrfeder-Manometer
(RSCh 63)


Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl
Sicherheitskategorie S3 nach EN 837-1
mit indirekten Grenzsignalgebern (Typen E / I)
Betriebs-Manometer mit Rohrfeder (RSCh 63) Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl Sicherheitskategorie S3 nach EN 837-1 mit indirektem Grenzsignalgeber (Typ R)
Rohrfeder-Manometer
(RSCh 63)


Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl
Sicherheitskategorie S3 nach EN 837-1
mit indirektem Grenzsignalgeber (Typ R)

Temperaturmessgeräte

 

Zulassungen